Substrati Porosi di Allumina

Substrati Porosi di Allumina utilizzati sia come filtri chimici che nella separazione tra fluidi. Disponibili in geometria circolare come substrati di supporto e bloccaggio dei wafer di semiconduttori durante le fasi di lavorazione.

Franco Corradi distrbuisce una serie di substrati ceramici con porosità controllata composti principalmente da una miscela di Ossido di Alluminio e Carburo di Silicio.
Le porosità del materiale (40-50%) sono uniformemente distribuite con una struttura a pori ramificati ed aperti e sono disponibili con dimensioni dei pori che vanno da 1 a 100 micron.

Questi substrati ceramici porosi vengono principalmente utilizzati per la filtrazione chimica e per la separazione dei fluidi, ma sono anche ampiamente utilizzati come substrati di adsorbimento o come supporto di appoggio nelle fasi di produzione dei wafer di semiconduttori : assottigliamento, cubettatura, pulizia e manipolazione.
I substrati porosi che proponiamo sono compatibili con macchine di diversi produttori come Disco, ADT, K&S, Applied Materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point.

Misure Standard (mm)		152,5x152,5 \| 203,2 x 203,2 \| 304,8 x 304,8
Misure Standard (pollici)		6” x 6“ \| 8” x 8” \| 12” x 12”
Tolleranze Standard (Lunghezza, Larghezza)		+/-0.10 mm
Planarità Standard		+/-0.10 mm
Rugosità Superficiale Standard		Ra 0.8 - 1.6
Alumina (Al2O3)	Misura media della porosità	Colore del Substrato
	15 um	Marrone chiaro/beige (varie gradazioni)
	30 um	Marrone (varie gradazioni)
	50 um	Grigio / Bluastro (varie gradazioni)
	100 um	Grigio / Bluastro (varie gradazioni)
Composizione e Proprietà Chimico-Fisiche
Proprietà	Unità di Misura	Valore
Al2O3 Content	Peso %	≥ 80
SiO2 Content	Peso %	16-18
Peso Specifico	g /cm3	2.3-2.5
Durezza (HRA)	HRA ≥	50
Resistenza alla Flessione	MPa ≥	40
Resistenza alla Compressione	MPa ≥	600
Fattore di Porosità	%	40
Pressione di Lavoro	MPa ≤	10
Resistenza agli Acidi	mg/cm2 ≤	10.0
Resistenza agli Alcali	mg/cm2 ≤	20.0