Le Tecnologie CVD Bernex nascono da oltre 50 anni di sviluppo tecnologico nel settore del Chemical Vapour Deposition o CVD. Bernex vanta la più lunga esperienza sul mercato nel campo del rivestimento chimico a secco ad alta temperatura. Ecco perché possiamo affrontare la vostra applicazione con la tecnologia dedicata più appropriata.
Bernex offre sistemi di rivestimento all’avanguardia e tecnicamente avanzati basati sulla tecnologia CVD , CVA e CVI .
I sistemi Bernex hanno un design modulare, progettato per essere flessibile, scalabile e di lunga durata. Con lo sviluppo della tecnologia e il cambiamento delle esigenze quotidiane del settore, Bernex offre aggiornamenti hardware e software per i sistemi di rivestimento produttivi ed installati sul campo, anche se vecchi di decenni, per continuare a funzionare sempre ai massimi livelli.
Tecnologie CVD Bernex
Tecnologie CVD BERNEX
I processi Bernex™ CVD, continuamente migliorati a partire dagli anni ’70, utilizzano alogenuri metallici come TiCl 4 o AlCl 3 come precursori del rivestimento.
I materiali precursori vaporizzati vengono dosati nel reattore per produrre una pellicola sul substrato. I precursori vengono continuamente alimentati nella zona di reazione e i sottoprodotti vengono continuamente rimossi, per mantenere stabile l’ambiente di reazione.
I processi di rivestimento CVD vengono eseguiti sotto vuoto o a pressione atmosferica. Le temperature di processo tipiche per la tecnologia di rivestimento Bernex™ CVD sono comprese tra 900 e 1050 °C per CVD ad alta temperatura e tra 720 e 900 °C per CVD a media temperatura.
I rivestimenti CVD presentano basse sollecitazioni, eccezionale adesione del rivestimento, elevata capacità di carico ed eccellente uniformità del rivestimento, indipendentemente dalla geometria della parte. Ciò li rende adatti al rivestimento di geometrie complesse, comprese le superfici interne.
Questi processi possono generare tutti i rivestimenti di cui potresti aver bisogno: TiN, TiC, TiCN, aAl 2 O 3 , κAl 2 O 3 , HfN, ZrN, ZrC, Ta, Zr(CN), TiZr(CN), ZrO 2 , Ti( CBN), TiB2 e TiAlN. Gli strati possono essere applicati singolarmente o in multistrato, su particolari quali inserti da taglio e piccole forme, matrici, punzoni e componenti .
Il processo CVD e le Tecnologie di Clorurazione BERNEX
Cloruratore Metallico | Cloruratore di Alluminio | Cloruratore liquido
I sistemi Bernex dispongono del controllo accurato necessario per ottimizzare i parametri del processo con passaggi progressivi e controllati. Ciò consente di controllare la nucleazione sullo strato legante e generare la struttura cristallografica desiderata (. a / κ .). Bernex è riuscita a raggiungere questo livello di controllo con il proprio hardware e software già nel 1972. Negli ultimi dieci anni di miglioramento dei sensori e del software, siamo stati in grado di ottenere un controllo ancora maggiore dell’orientamento dei grani.
Il Cloruratore Metallico
- La clorurazione è la tecnologia chiave per la CVD.
- Un cloruratore metallico per CVD (Chemical Vapor Deposition) è un dispositivo utilizzato nel processo di deposizione chimica da vapore per applicare strati sottili di materiale su un substrato.
- Questi cloruratori sono progettati da BERNEX per gestire i reagenti chimici utilizzati nel processo di deposizione, tra cui cloruri metallici.
- I cloruri metallici sono composti chimici contenenti metalli legati al cloro, utilizzati come precursori per la deposizione di film sottili in applicazioni CVD. Questi cloruratori sono progettati da BERNEX per garantire la sicurezza e il controllo preciso durante il processo di deposizione, consentendo la produzione efficiente di film sottili di alta qualità.
- Così come l’Alluminio (Al), anche altri elementi metallici interessanti come il Cromo (Cr), l’Afnio (Hf), lo Zirconio (Zr) o il Tantalio (Ta) possono essere clorurati.
- Rispondendo alle specifiche esigenze dei clienti, Bernex ha creato nel corso degli anni un’ampia gamma di cloruratori metallici che possono essere aggiunti alle apparecchiature Bernex CVD come dispositivi per realizzare nuovi rivestimenti.
- I cloruratori metallici BERNEX sono progettati per lavorare in perfetta sintonia con la nostra camera di riscaldamento brevettata e con il controllo preciso del flusso di acido cloridrico (HCl).
Il Cloruratore di Alluminio
- Tra i Cloruratori metallici di BERNEX è importante menzionare il Cloruratore di Alluminio necessario per ottenere uno strato di rivestimento base con il controllo della struttura cristallografica e dell’orientamento dei grani.
- Gli strati di Allumina (Al2O3) sono molto apprezzati per applicazioni su utensili da taglio di fascia alta. Per generare uno strato di Al2O3 è necessario prima clorurare l’alluminio per ottenere cloruro di alluminio (AlClx).
- Nel nostro cloruratore di alluminio, vengono sottoposti pellet di alluminio di elevata purezza ad un flusso di acido cloridrico (HCl) a bassa temperatura.
- Il cloruro di alluminio (AlClx) viene quindi introdotto nel reattore di processo tramite tubazioni riscaldate.
- Infine ad alta temperatura, l’idrogeno (H 2) e l’anidride carbonica (CO2) si combinano per creare Allumina (Al2O3) che viene quindi depositata.
Il Cloruratore liquido
IL Cloruratore liquido di BERNEX è indispensabile per la realizzazione di coating a base di carbonitruro di titanio (TiCN) ed è alla base della maggior parte dei coating multistrato per gli inserti in tutto il mondo. Infatti il primo cloruratore liquido è una invenzione di BERNEX.
Per generare i rivestimenti Bernex TiN e TiCN ad alta temperatura (High Temperature) è necessario
tetracloruro di titanio liquido (TiCl4). Per essere in grado di controllare la trasformazione del liquido in fase gassosa regolando tcon precisione temperatura, pressione e flusso, BERNEX ha progettato una camera di evaporazione preriscaldata brevettata dedicata alla clorurazione del titanio. Questo design proprietario, che utilizza specifici controllori del flusso di massa, è ciò che consente alle apparecchiature Bernex CVD di depositare i rivestimenti TiN e HT-TiCN più efficaci oggi sul mercato.
Oltre all’HT-TiCN, Bernex è rinomata anche per il nostro TiCN a temperatura moderata (MT).
Questo rivestimento è generato con CH3CN liquido (Aetonitrile). Questo rivestimento è stato sviluppato da Bernex all’inizio degli anni ’70 per controllare meglio la crescita della struttura cristallografica, beneficiando di una temperatura di deposizione più bassa. Ad oggi, MT-TiCN è lo strato di coating fondamentale per la maggior parte degli inserti rivestiti CVD in tutto il mondo.