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Substrati Porosi di Allumina

Substrati Porosi di Allumina utilizzati sia come filtri chimici che nella separazione tra fluidi. Disponibili in geometria circolare come substrati di supporto e bloccaggio dei wafer di semiconduttori durante le fasi di lavorazione.

Substrati Porosi di Allumina
  • Franco Corradi distrbuisce una serie di substrati ceramici con porosità controllata composti principalmente da una miscela di Ossido di Alluminio e Carburo di Silicio.
  • Le porosità del materiale (40-50%) sono uniformemente distribuite con una struttura a pori ramificati ed aperti e sono disponibili con dimensioni dei pori che vanno da 1 a 100 micron.
Allumina_Porosa_Vacuum_Chuck_2
  • Questi substrati ceramici porosi vengono principalmente utilizzati per la filtrazione chimica e per la separazione dei fluidi, ma sono anche ampiamente utilizzati come substrati di adsorbimento o come supporto di appoggio nelle fasi di produzione dei wafer di semiconduttori : assottigliamento, cubettatura, pulizia e manipolazione.
  • I substrati porosi che proponiamo sono compatibili con macchine di diversi produttori come Disco, ADT, K&S, Applied Materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point.
alumina_porosa_substrati

Principali Caratteristiche

  • Elevata planarità e parallelismo
  • Microstruttura compatta e uniforme
  • Alta resistenza meccanica
  • Buona permeabilità
  • Affinità di adsorbimento uniforme
  • Lunga durata in esercizio
Misure Standard (mm) 152,5x152,5 | 203,2 x 203,2 | 304,8 x 304,8
Misure Standard (pollici)6” x 6“ | 8” x 8” | 12” x 12”
Tolleranze Standard (Lunghezza, Larghezza)+/-0.10 mm
Planarità Standard+/-0.10 mm
Rugosità Superficiale StandardRa 0.8 - 1.6
Alumina (Al2O3)Misura media della porositàColore del Substrato
15 umMarrone chiaro/beige (varie gradazioni)
30 umMarrone (varie gradazioni)
50 umGrigio / Bluastro (varie gradazioni)
100 umGrigio / Bluastro (varie gradazioni)
Composizione e Proprietà Chimico-Fisiche
ProprietàUnità di MisuraValore
Al2O3  ContentPeso %≥ 80
SiO2  ContentPeso %16-18
Peso Specificog /cm32.3-2.5
Durezza (HRA)HRA ≥50
Resistenza alla FlessioneMPa ≥40
Resistenza alla CompressioneMPa ≥600
Fattore di Porosità%40
Pressione di LavoroMPa ≤10
Resistenza agli Acidimg/cm2 ≤10.0
Resistenza agli Alcalimg/cm2 ≤20.0
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