Impianti Batch CVD LabTube

Impianti Batch CVD LabTube

Impianti Batch CVD LabTube : Lo strumento principale di ricerca e sviluppo

Impianti Batch CVD LabTube. Dedicato al lavoro di ricerca e sviluppo o a piccole prove di validazione di prove concettuali, Bernex CVD LabTube è dotato di una varietà di moduli precursori. La sua modularità supporta e migliora la produzione e l’ampliamento del portafoglio di rivestimenti, consentendo agli ingegneri di creare diverse combinazioni di materiali di rivestimento, nuovi materiali o interfacce. Il design sicuro e la modularità del sistema consentono agli utenti di soddisfare le esigenze delle sfide presenti e future regolando le proprietà del rivestimento come adesione, struttura cristallina o morfologia. Le dimensioni ridotte dell’unità LabTube CVD (deposizione chimica in fase vapore) Bernex, insieme ai bassi consumi, contribuiscono a un notevole risparmio sui costi durante lo sviluppo del rivestimento.

Moduli disponibili

  • Generatore AICI3
  • HTC (cloratore ad alta temperatura per la generazione MeClx, come ZrCl4 o HfCl4)
  • Modulo NH3
  • Modulo BCI3
  • Fino a quattro moduli liquidi con evaporatori controllati dedicati, utilizzando l’alimentazione del gas di trasporto/spurgo
  • Modulo cloratore interno (oltre 900°C)
  • Sublimatore di precursori solidi
  • Possibilità di abbinamento al Bernex MOCVD
  • (CVD metallo-organico).
  • Opzioni su misura sono disponibili su richiesta

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