Impianti Batch CVD LabTube. Dedicato al lavoro di ricerca e sviluppo o a piccole prove di validazione di prove concettuali, Bernex CVD LabTube è dotato di una varietà di moduli precursori. La sua modularità supporta e migliora la produzione e l’ampliamento del portafoglio di rivestimenti, consentendo agli ingegneri di creare diverse combinazioni di materiali di rivestimento, nuovi materiali o interfacce. Il design sicuro e la modularità del sistema consentono agli utenti di soddisfare le esigenze delle sfide presenti e future regolando le proprietà del rivestimento come adesione, struttura cristallina o morfologia. Le dimensioni ridotte dell’unità LabTube CVD (deposizione chimica in fase vapore) Bernex, insieme ai bassi consumi, contribuiscono a un notevole risparmio sui costi durante lo sviluppo del rivestimento.
Impianti Batch CVD LabTube
Impianti Batch CVD LabTube : Lo strumento principale di ricerca e sviluppo
Moduli disponibili
- Generatore AICI3
- HTC (cloratore ad alta temperatura per la generazione MeClx, come ZrCl4 o HfCl4)
- Modulo NH3
- Modulo BCI3
- Fino a quattro moduli liquidi con evaporatori controllati dedicati, utilizzando l’alimentazione del gas di trasporto/spurgo
- Modulo cloratore interno (oltre 900°C)
- Sublimatore di precursori solidi
- Possibilità di abbinamento al Bernex MOCVD
- (CVD metallo-organico).
- Opzioni su misura sono disponibili su richiesta
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