Franco Corradi distrbuisce una serie di substrati ceramici con porosità controllata composti principalmente da una miscela di Ossido di Alluminio e Carburo di Silicio.
Le porosità del materiale (40-50%) sono uniformemente distribuite con una struttura a pori ramificati ed aperti e sono disponibili con dimensioni dei pori che vanno da 1 a 100 micron.
Substrati Porosi di Allumina
Substrati Porosi di Allumina utilizzati sia come filtri chimici che nella separazione tra fluidi. Disponibili in geometria circolare come substrati di supporto e bloccaggio dei wafer di semiconduttori durante le fasi di lavorazione.
Substrati Porosi di Allumina
Substrati ceramici porosi utilizzati per la filtrazione chimica
Questi substrati ceramici porosi vengono principalmente utilizzati per la filtrazione chimica e per la separazione dei fluidi, ma sono anche ampiamente utilizzati come substrati di adsorbimento o come supporto di appoggio nelle fasi di produzione dei wafer di semiconduttori : assottigliamento, cubettatura, pulizia e manipolazione.
I substrati porosi che proponiamo sono compatibili con macchine di diversi produttori come Disco, ADT, K&S, Applied Materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point.
Applicazioni tipiche:
- Elevata planarità e parallelismo
- Microstruttura compatta e uniforme
- Alta resistenza meccanica
- Buona permeabilità
- Affinità di adsorbimento uniforme
- Lunga durata in esercizio
Proprietà Termo-Fisiche dei Substrati Porosi di Allumina
| Misure tipiche Standard (mm) | 152,5x152,5 | 203,2 x 203,2 | 304,8 x 304,8 | |
|---|---|---|
| Misure tipiche Standard (pollici) | 6” x 6“| 8” x 8”|12”x12” | |
| Tolleranze Standard (Lunghezza, Larghezza) | +/-0.10 mm | |
| Panarità Standard | +/-0.10 mm | |
| Rugosità Superficiale Standard | Ra 0.8 - 1.6 | |
| Alumina (Al2O3) | Misura media della porosità | Colore del Substrato |
| 15 um | Marrone chiaro/beige (varie gradazioni) | |
| 30 um | Marrone (varie gradazioni) | |
| 50 um | Grigio / Bluastro (varie gradazioni) | |
| 100 um | Grigio / Bluastro (varie gradazioni) | |
| Composizione e Proprietà Fisico-Chimiche | ||
| Proprietà | Unità di Misura | Valore |
| Al2O3 Content | Peso % | ≥ 80 |
| SiO2 Content | Peso % | 16-18 |
| Peso Specifico | g /cm3 | 2.3-2.5 |
| Durezza (HRA) | HRA ≥ | 50 |
| Resistenza alla Flessione | MPa ≥ | 40 |
| Resistenza alla Compressione | MPa ≥ | 600 |
| Fattore di Porosità | % | 40 |
| Pressione di Lavoro | MPa ≤ | 10 |
| Resistenza agli Acidi | mg/cm2 ≤ | 10.0 |
| Resistenza agli Alcali | mg/cm2 ≤ | 20.0 |